Новости

интеграторы Систем-в-пакета приблиубегут к мед-к-медь сразу выпуск облигаций между плашкой как тангаж скрепления идет вниз, делающ припой используемый для того чтобы соединить приборы в неоднородном пакете более менее практически.

В выпуске облигаций термокомпрессии, выступая медные рему скрепляют к пусковым площадкам на основном субстрате. В гибридном выпуске облигаций, медные пусковые площадки инкрустированы в диэлектрике, уменьшая риск оксидации. В обоих случаях, хотя, поверхностная диффузорность меди определяет зависимость тарифа и температуры образования скрепления.

В обоих случаях, хотя, поверхностная диффузорность меди определяет зависимость тарифа и температуры образования скрепления. Медь crystalizes в кубической решетке, с открытой поверхностью соответствие к или стороне куба, самолета пересекая 4 противоположных угла, или самолета пересекая 3 угла. Ярлык Crystallographers эти стороны (100), (110), и (111), соответственно, основанный на индексах Miller решетки.

В меди, оксидация гораздо медленнее и диффузорность порядки величины более быстро: 1,22 x 10-5 cm2/sec на 250°C на (111) поверхности, но только 4.74×10-9 cm2/sec на (100) отделывает поверхность, и 3,56 x 10-10 cm2/sec на (110) поверхностях. Когда скрепляя (111) поверхности, Chien-минута Liu и коллега в национальном университете Chiao Tung в Тайване достигли крепких соединений на температурах как низкий уровень как 150°C, пока ориентированные на менее поверхности имели минимальное температуры скрепления ближе к типичным процессам reflow припоя 350°C. работают на около 250°C, и много временных слипчивых смесей конструированы для этого диапазона температур.

(111) поверхность также предлагает более высокую атомную плотность, водя к более сильному скреплению. Поверхности с меньше чем 25% из зерен ориентированных в этом направлении были прональны для того чтобы скрепить отказ.

Поверхностная ориентация зависит от гальванизируя процесса используемого для того чтобы депозировать медные особенности. Приложенный инженер-технолог Марвин Bernt материалов объяснил что широкие, мелкие особенности не имеют никакую значительную стенку. Дно особенности может служить как шаблон для ориентированного роста. Как повышения глубины особенности, помощь конформная слоя семени уменьшить риск покрывать свободные пространства вдоль стенок.

К сожалению, растя медный слой клонит аккумулировать равномерно на всех поверхностях семени. Колоннообразные зерна растя от дна особенности отрезаны зернами растя от стенок. Для коэффициентов сжатия более больших чем 1,5, этот «щипок с» могут даже привести к внутренним свободным пространствам. Покрывая процессу нужно сбалансировать уступки среди ориентации, тарифа низложения, и свободного от пуст роста.

Размер зерна и ориентация также повлияны на положением в пределах массива пусковой площадки, независимо от размера пусковой площадки. Пусковые площадки края имеют более небольшие зерна, увеличивая к внутренности массива. Ориентация зерна зависит от размера пусковой площадки и положение пусковой площадки, SeokHo Ким и коллеги на Samsung нашли, вероятно должный к изменениям в концентрации тока во время гальванизировать. Достигать пожеланных колоннообразных зерен, после этого, зависит от взаимодействия между слоем семени, настоящей формой волны поставленной покрывая инструментом, и химией покрывая ванны.

Когда 2 сильно ориентированных поверхности встречают, результаты замечательны. Jing Ye Juang и коллеги в национальном университете Chiao Tung наблюдало непрерывной решетчатой структурой, obliterating интерфейс пре-выпуска облигаций. В тестах тяги, интерфейс мед-меди был более силен чем и скрепление мед-кремния и прилипатель между образцом и приспособлением теста. Подобно, электрическое сопротивление соответствовало к этой из оптовой меди.

Успешный выпуск облигаций мед-к-меди зависит от гальванизируя процесса который может поставить последовательную медную зернистую структуру. Однако гальванизировать солиден для BEOL и применения TSV, специфические требования выпуска облигаций мед-к-меди новы. (От Катрин Дербишира)